激光干涉的精密测量技术

激光是一种单色光波,它的波动频率恒定,波动方向恒定,极易产生干涉现象,利用激光的干涉现象,人们做出了很多应用,特别是在精密测量方面较为突出。

 

一、激光的干涉现象

人们通常能看见光,是因为光的漫反射;激光是单色光,人们在空气中能够看见激光,也是因为它与空气中的微粒作用产生漫反射的原因。

激光与普通光不一样,是单色光,是某物质的电子能量跃迁产生的,所以它的振动频率很单一,波动方向也恒定,是干涉光波。

什么是激光的干涉现象?用一个干涉实验来说明。下面图中的一束激光,经过两个小孔得到两个同样性质的光,于是它们在传播过程中叠加了,有的地方振动始终加强,某些地方的震动始终减弱,而且振动强度有着稳定的空间分布。在固定位置接收到的光强按一定规律作强弱交替变化,形成激光的干涉条纹。

 

 

根据光学,2束光要产生干涉现象是有条件的:

①这两束光的频率比较接近;②它们的相位有一定的差异(这可以通过光束的路径长短来调节);③这两束光尽可能平行地叠加。满足这3个条件的光称为“相干光”。对于激光来说,很容易满足“相干性”条件,激光是“相干光”。

二、激光干涉的应用

1、测量某个激光束的波长和频率

把一束激光用分光镜分成两路,这两路光是频率相同的,调整两路光的行程差(只是激光波长的一半,很微小),使得这两路光有相位差;它们平行叠加时就产生干涉现象。

我们把这种激光设想为正弦波,如下图,当2个频率相同且相差1/4个波长的正弦波叠加时,振幅有的地方变强了(这对应着光的强度变大了,亮些),有的地方变弱了(这对应着光的强度减弱了,暗些);所以,2个亮条纹中心之间的距离表示该激光的1/2个“波长”;只要在1米长的范围内计算有多少个亮条纹,就可以知道此激光的“波长”是多少,从而知道它的“频率”是多少了。

 

 

2、检测平整度是否有微小差异

如下图所示,两个透明玻璃条的一端夹着纸片,两块玻璃构成一个劈尖,二个表面间形成一层空气薄膜,然后用单色激光从劈尖上方垂直照射,于是下层玻璃的上表面会反射激光,入射光和反射光就会产生干涉现象。现在来观察条纹形状;若干涉条纹是均匀的、平行等间隔的直条纹,则说明两个玻璃片是平行的;若干涉条纹呈现弯曲,则从条纹变异的情况可以推知待测表面偏离平面的情况;还可以测出夹角,测出纸片厚度。

 

 

同样的道理,一片透明体如果是否等厚度的,它的激光干涉条纹是平行等距的;如果厚度不均匀,它的激光干涉条纹是不平行不等距的。

同样的道理,相机镜头的曲面弯曲是否均匀的,它的干涉条纹的表现是不相同的;镜头上面的镀膜是否均匀,镀膜有多厚,都可以用激光干涉方法去测量。

现在,人们利用激光的干涉现象能够用于检测的原理,制作出多种激光测量仪,市场有售。利用激光测量仪,可以方便地测量角度、直线度、垂直度、弯曲度等几何量,可以指导高精度设备的安装,检测其工作精度,检测其运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度等。

来源:华中科技大学徐长发教授

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