大族激光200W脉冲CO₂激光器实现“私人订制”设计
二氧化碳(CO2)激光器由C.Kumar N.Patel于1964年在贝尔实验室发明,首次运用其波长为10.6μm。它又可叫做玻璃激光管,目前在包装喷码、非金属材料切割、医疗美容等行业仍有一定的应用。
射频金属管CO2激光器以其远优于玻璃管CO2激光器的性能,在工业应用方面更为广泛。射频CO2激光器组织结构分为三部分:谐振腔、射频激励、冷却系统。
二氧化碳激光器基本结构图
作为技术最成熟、最稳定可靠的光源类型,CO2激光器在工艺开发上也非常成熟。大族激光自主研发CO2激光器,经过10余年的技术积累,产品性能已优于进口同类产品,在国内3C等行业应用中处于领先地位,至今累计出货量超10000台。

HLD系列200瓦脉冲CO2激光器是使用射频激励板条放电封离型谐振腔的商用CO2激光器。高频射频激励和板条放电型激光谐振腔设计,脉冲上升、下降沿时间短,峰值功率数倍于平均输出功率,从而可实现热影响较少加工。例如,相较于直流激励玻璃管CO2激光器,比输出功率大,其单管比输出功率可达1.1W/cm²。

功率曲线图
输出特性图


二氧化碳激光器光斑三维图形和平面图形
与直流电激励相比,此款激光器射频激励放电不需镇流电阻,光电转换效率高,可达24%。工作寿命较长,射频放电激励可避免直流激励中严重的阴极溅射问题;此外,它还能连续波输出和高重频输出,使用TTL信号,可实现几百赫兹到上百千赫兹的频率调制。
大族激光HLD系列产品核心部件完全自主研发,拥有自主专利技术,打破了国外公司CO2激光器在中国市场的垄断。本系列产品采用先进的冷却、金属密封结构设计,选用了高品质关键器件,可达到20000小时以上的免维护。同时,产品本身小型化的设计更利于配套自动化应用,可搭载于机器人臂上。



激光器专用配比激光工作气体,气体放电更好,功率更稳定,激光波长纯度高;集成光束整形系统,输出准基模圆高斯光束。产品整体进行双层高等级防尘设计,封装等级IP66,可根据终端客户需求提供个性化解决方案,也是恶劣工业环境(灰尘、高温、水淋等)的理想选择之一。






近年,HLD系列激光器的研究理论体系及产品研发创新技术已趋于成熟,各类全新型、多功能产品陆续推出,产品实际应用领域也不断扩大。200瓦脉冲CO2激光器多适用于印刷电路板微细孔加工、柔性电路板加工、塑料精密切割;陶瓷划线、钻孔,玻璃切割和熔敷,背光板精密金属切割和熔敷;皮革、藏经及其它各种非金属材料的标记、雕刻、划线及切割等场景。
激光器精细的工艺和“私人订制”的设计引不少企业青睐,大量订单正借助数字化时代的无限触角纷至沓来。截至2022年12月底,200瓦脉冲CO2激光器累计销售数量超过2000台,扩展机型HLD系列100瓦脉冲CO2激光器累计销售数量约5000台,不仅直接为公司节约了进口成本,还创造了良好的社会经济价值。
现今激光行业“卡脖子”技术已不多,激光技术发展将更追求精益求精。为了进一步满足全新的市场需求,助力客户改进技术、升级工艺,高度实现生产自动化及扩大产能等,在此型号基础上,大族激光将扩展研发AOM功能及窄脉宽高峰值功率进阶版产品,持续为客户提供最优工艺解决方案。
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参数 |
HLD-200/HLD-180i |
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平均功率 |
200 Watts/180 Watts |
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波长 |
10.3to10.8μm/9.2to9.4μm |
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M²-光束质量 |
<1.2 |
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输出功率范围 |
10to200 Watts/10to180 Watts |
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最大有效峰值功率 |
500Watts/450Watts |
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最小脉冲周期 |
10μs(equivalent 100kHz) |
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最小脉冲宽度 |
3μs |
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脉冲上升和下降沿时间 |
<60μs |
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脉冲能量范围 |
5to400 mJ/5to360 mJ |
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调制脉冲宽度范围 |
3to1000μs |
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占空比 |
≤60% |
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输出功率稳定性 |
<±6% |
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光束直径(1/ e²) |
6.5±1mm |
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光束发散角(全角) |
<2±1mrad |
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光束椭圆度 |
0.83 to 1.2 |
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偏振(对底板水平) |
Linear>100:1 |
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输入DC电压 |
48V±1% |
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最大输入DC电流 |
50A |
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热负荷 |
2.5KW |
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冷却水流量(最小) |
5.7(Lpm) |
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冷却水温度 |
10℃-35℃ |
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冷却水压(入口) |
205-520kPa |
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外形尺寸(mm) |
898*192*204 |
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重量 |
28kg |
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